發(fā)布日期:2021-07-15
根據(jù)真空閥門的應(yīng)用場合,使用特點(diǎn),其基本要求,應(yīng)包括以下幾個方面。
(1)閥門的密封性能要求。即應(yīng)擁有較高的氣密性,不但閥蓋(亦稱閥板)封閉處漏氣率要求,而且閥體的漏氣率也要求。
(2)閥門密封部件耐磨性要好。特別是閥座與閥蓋密封部件要能反復(fù)使用、壽命長。
(3)閥門對氣流的阻力盡量小,即閥門的流導(dǎo)盡可能要好。
(4)閥門材料要具有低飽和蒸氣壓、高抗腐蝕能力和高化學(xué)穩(wěn)定性、超高真空閥門材料應(yīng)耐烘烤。烘烤溫度一般不低于150℃、最高450℃。
(5)閥門零部件加工工藝性要好,表面處理工藝先進(jìn),閥門連接法蘭應(yīng)符合真空法蘭國家標(biāo)準(zhǔn)要求。具有通用性、互換性。
(6)閥門結(jié)構(gòu)要簡單,造型美觀大方,開關(guān)輕便、靈活。開關(guān)狀態(tài)應(yīng)有標(biāo)志。大型閥門(公稱通徑ND≧500mm)應(yīng)用起吊裝置,操作方便,維修容易。
此外,對節(jié)流閥要求能均勻調(diào)節(jié)氣體流量,對真空微調(diào)閥(又稱針閥)由于它是用來向真空系統(tǒng)中充氣并可精確調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量的,常用于真空泵抽速測量、真空鍍膜設(shè)備、離子束刻蝕設(shè)備真空系統(tǒng)中,因此,該閥對針形狀的閥芯加工質(zhì)量要求較高。閥門的開放、關(guān)閉應(yīng)有限位裝置,以避免關(guān)閉閥門時因用力過大,將針閥芯擰斷事故的發(fā)生。